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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：

1、油润滑轴承

2、油脂润滑轴承

3、气膜轴承

4、磁悬浮轴承

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真空泵的极限压力可以简单理解为这台泵*高能抽到的真空泵。 测试一般是盲死抽气口，测试此时真空泵所抽的负压是多少。 6*10-2pa一般是双极旋片式真空泵的极限真空度，意思为0.06pa

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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修，请务必确认维修厂家有无如下设备及备件： 氦质谱检漏仪：是用来测试分子泵有无渗漏的，五轴磁悬浮分子泵维修后，因真空密封及接口较多，很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差，又直接导致镀膜质量差。

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岛津SHIMADZU五轴磁悬浮分子泵维修型号有：

Shimadzu TMP1103-----Shimadzu TMP1103M/C

Shimadzu TMP1103 MP -----Shimadzu TMP1103 MPC

Shimadzu TMP2003 MP -----Shimadzu TMP2003 MPC

Shimadzu TMP1003LM---- Shimadzu TMP1003 LMC

Shimadzu TMP1103LM---- Shimadzu TMP1103 LMC

Shimadzu TMP1303LM---- Shimadzu TMP1303 LMC

Shimadzu TMP1303LMP---- Shimadzu TMP1303 LMPC

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