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真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技能为基础，使用物理或化学办法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技能，为科学研究和实践出产供应薄膜制备的一种新工艺。

真空镀膜加工的基本技能要求

1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应契合GB/T6070的规则。

2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应设备真空丈量规管，分别丈量各部位的真空度。当发现电场对丈量造成搅扰时，应在丈量口处设备电场屏蔽设备。

3、假如设备运用的主泵为分散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱

4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板设备。观察窗应能观察到堆积源的作业情况以及其他关键部位。

什么是真空镀膜加工

简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。

电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中，直接利用电子束加热，使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜，是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点，特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。

优点：

1、电子束轰击热源的束流密度高，能获得远比电阻加热源更大的能量密度。

2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内，因而可避免容器材料的蒸发，以及容器材料与蒸镀材料之间的反应，这对提高镀膜的纯度极为重要。

3、热量可直接加到蒸镀材料的表面，因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。

高频感应蒸发源蒸镀法：

高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中央，使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失（对铁磁体)，使蒸发材料升温，直至气化蒸发。

优点：

1、蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右。

2、蒸发源的温度均匀稳定不易产生飞溅现象。

3、蒸发材料是金属时，蒸发材料可产生热量。

4、蒸发源一次装料，无需送料机构，温度容易控制，操作简单。